Laboratoř pro VaV slinování pokročilé keramiky z nitridu hliníku v ochranné atmosféře

Popis projektu

Pokročilé strojírenství, elektro-mobilita a životní prostředí vyžadují miniaturizaci výkonových mikroelektronických obvodů a modulů. Z nich je třeba odvádět značné množství tepla a udržet pracovní teplotu, umožňující spolehlivou funkci. To umožní keramika s vysokou tepelnou vodivostí. Tou je nitrid hliníku AlN, který vyžaduje výpal na vysoké teploty v ochranné atmosféře o vysoké čistotě. Smyslem projektu je vybudovat laboratoř pro VaV slinování této pokročilé keramiky. Laboratoř musí být vybavena pecí pro debinding keramiky (výpal kdy se odstraní organické složky typicky do 650 °C), pecí pro slinování při teplotách do cca. 2 000 °C v atmosféře čistého N2, příp. směsi N2 s H2, plynovým hospodářstvím (generace plynu, řízení průtoku plynů pecí, nastavení parciálních tlaků), chlazením, měřením (složení atmosféry, teploty, elektrická měření a další) a regulací (křivka výpalu, průtok plynů, chlazení a další). Je třeba upravit pracoviště, aby nedošlo ke znečistění vypalovaných výrobků, vybavit ho potřebnými rozvody energií a médií (elektřina, tlakový vzduch, voda, plyny, klimatizace, odtahy).